wafer FOUP on SESTO Robotics AGV with Robotic Arm
S200 with SCARA
wafer FOUP on SESTO Robotics AGV with Robotic Arm

S200附SCARA机械手臂


使用我们能拾取、放置、运输的自动导引车(AGV)来实现高生产率
具有水平多关节机械手臂(SCARA)的赛思托自动导引车(AGV)是一台特殊类型的AGV。它使用的4轴机械手臂可以提起高达20公斤的重物,并自主地拾取、放置和运输材料。这类型的AGV适合用于半导体制造厂。

  • 机械手臂有效载荷:高达20公斤
  • 可搬运的物料:前开式晶圆传输盒(FOUP),晶圆盒,制程晶舟盒,晶圆传送盒,自动前开式出货盒(FOSB),晶舟自动化传送盒(SMIF Pod)
  • 洁净室环境:100级/ ISO 5级

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