wafer FOUP on SESTO Robotics AGV with Robotic Arm
S200 with SCARA
wafer FOUP on SESTO Robotics AGV with Robotic Arm

S200附SCARA機械手臂


使用我們能拾取、放置、運輸的自動導引車(AGV)來實現高生產率
具有水平多關節機械手臂(SCARA)的賽思托自動導引車(AGV)是一台特殊類型的AGV。它使用的4軸機械手臂可以提起高達20公斤的重物,並自主地拾取、放置和運輸材料。這類型的AGV適合用於半導體製造廠。

  • 機械手臂有效載荷:高達20公斤
  • 可搬運的物料:前開式晶圓傳輸盒(FOUP),晶圓盒,製程晶舟盒,晶圓傳送盒,自動前開式出貨盒(FOSB),晶舟自動化傳送盒(SMIF Pod)
  • 潔淨室環境:100級/ ISO 5級

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